産品時間(jiān)：2021-08-27
FS4001系列(liè)測(cè)量氣(qì)體流量傳感器是專(zhuān)門爲各類小流量氣體的測量和過程控(kòng)制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的(de)微機電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作，适用于各類清潔氣體。
簡介：
FS4001系列測量氣體流量傳感器 是專門爲各類小流量氣體(tǐ)的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本(běn)公司自主研發的微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片來(lái)制作。
FS4001系列測量氣(qì)體流量傳感器 适用于各類清潔氣體(tǐ)。*的(de)封裝技術使之可用于各類管徑，成本(běn)低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的(de)傳統流量傳感器。
産(chǎn)品特點：
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傳感器靈敏度高(gāo)
,
有極小的始動流量
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傳感器(qì)芯片采(cǎi)用熱質量流(liú)量(liàng)計量
,
無需溫度壓力補償
,
保證了傳
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感器的高精度計量(liàng)
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在單(dān)個芯片上實現了多傳感(gǎn)器集成
,
使(shǐ)傳感器的量程比大(dà)大提高
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傳感(gǎn)器的零點穩定度高
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全量程高穩定性
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全量程高精确度和優良的重複性
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低功耗
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低壓損
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響應時間快
主要參數：
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性(xìng)能(néng)參數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量(liàng)程比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chū)方式 |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuò)溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
