産品時間：2021-08-27
FS4001系列實驗室氣體(tǐ)流量傳感器适用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于(yú)各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度(dù)壓(yā)力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
産(chǎn)品簡介：
FS4001系列實驗室氣體(tǐ)流量傳感(gǎn)器 是專門爲各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（ MEMS ）流量傳感(gǎn)芯(xīn)片來制作。
FS4001系列實(shí)驗室氣體流量傳(chuán)感器 适用于各類清潔(jié)氣體。*的封裝技術使之(zhī)可用于各(gè)類管徑，成本低、易安裝、不需(xū)要(yào)溫度壓力補償(cháng)，可替代容積式或壓差式的傳統流(liú)量傳感器。
産品特點：
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傳感器靈敏度高
,
有極小的始動流量
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傳感器(qì)芯片采用熱質(zhì)量流量計量
,
無需溫度壓力補償
,
保(bǎo)證了傳
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感器的高精(jīng)度計量
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在單個芯片上實現了多(duō)傳感器集成(chéng)
,
使傳感器的量程比大大(dà)提高
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傳感器的零點穩定(dìng)度高
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全量程高穩定性
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全量程高精确度和優良的重複性
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低功耗
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低壓(yā)損
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響(xiǎng)應時間快
機械(xiè)尺寸：
主要(yào)參數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liú)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bǐ) |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH（無結冰、無凝露） |
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機(jī)械接(jiē)口 |
可拆式軟管接頭 |
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校準方式 |
空氣(qì)（或(huò)其他氣(qì)體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
