産品時間：2021-08-30
mf4001廣(guǎng)東微小口徑氣體質量流量計是專門爲(wèi)各類小流量氣體的測量和過程控制而(ér)設計的。這一系列傳(chuán)感器均采(cǎi)用本(běn)公司自主研發(fā)的微機電系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片來制作，适用于各類清潔氣體。*的封裝(zhuāng)技(jì)術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或(huò)壓差式的(de)傳統流量傳感器。
mf4001廣東微小口徑氣體質(zhì)量流量計
産品特點(diǎn)：
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傳感(gǎn)器靈敏度高
,
有極小的(de)始動流量
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傳感器芯片采用熱質量流量計量
,
無需溫度壓力補償
,
保證了(le)傳
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感(gǎn)器的高精度計(jì)量
-
在單個芯片(piàn)上實現了多傳感器集成
,
使傳感器的量程比大大(dà)提高
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傳感器的零點穩定度高
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全量程高穩定性
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全量程高精确度和(hé)優良的重複性
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低(dī)功耗(hào)
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低壓損
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響(xiǎng)應時間快
mf4001廣東微小(xiǎo)口徑氣體質量流量(liàng)計 機械尺寸：
主要參數：
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性(xìng)能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(chéng)比 |
>100：1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大(dà)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(dù) |
<95%RH（無結(jié)冰、無凝(níng)露） |
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機械接口 |
可拆(chāi)式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 |
空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
