流量(liàng)測(cè)量技(jì)術之(zhī) 微小流量 的測量     
半(bàn)導(dǎo)體制(zhì)造業、生(shēng)物工(gōng)程、精(jīng)細化工等的興(xìng)起，使(shǐ)流量(liàng)測量(liàng)向低(dī)端延伸，小流量(liàng)計(jì)流量的要求(qiú)在上世紀 80 ∽ 90 年(nián)代(dài)凸顯(xiǎn)起來(lái)。何(hé)謂小流(liú)量 ? 業界尚無*的定義和界(jiè)限，小(xiǎo)流(liú)量因應(yīng)用領域(yù)而異是(shì)一個模糊的概念。管道小流量(liàng)測量(liàng)體現于管(guǎn)徑小和流速低(dī)兩個層次(cì)，就流(liú)程工(gōng)業(yè)而言，習(xí)慣上(shàng) dn10 甚至(zhì) dn15 以下管徑(jìng)流量測量(liàng)稱之(zhī)小流(liú)量測量，通(tōng)常其流量值液體爲 1l/min 或 0.06m3/h 以下，流(liú)量儀(yí)表滿(mǎn)度(dù)流量(liàng)時(shí)的流速低(dī)于 0.1m/s 。
1 、測(cè)量方(fāng)法
傳統小(xiǎo)流(liú)量測量技術(shù)節流差壓(yā) ( 層流 ) 法、浮(fú)子法和容積法(fǎ)等有(yǒu)了的(de)改進，新測(cè)量技術如(rú)超聲(shēng)法、熱法(fǎ)、科裏奧利法等也(yě)有成效地應于液體(tǐ)和(hé)氣體小流量測量。
2 、特點
微小(xiǎo)流量與一(yī)般流(liú)量測量(liàng)相比較(jiào)，具有以下特點。
1) 雷(léi)諾(nuò)數低(dī)
一般管道(dào)流動均爲(wèi)紊流流動，流(liú)量(liàng)儀表(biǎo)也是針對紊流(liú)流(liú)動(dòng)态設(shè)計的(de)，而小流量(liàng)儀表(biǎo)因管(guǎn)徑小常處(chù)于層流(liú)流(liú)動 ( 例如管内徑(jìng) 6mm ，流量 0.05l/min ， re 爲 1800 或(huò)層流 / 紊流(liú)過渡區流(liú)态流(liú)動，小(xiǎo)流量測量(liàng)受使(shǐ)用中流體(tǐ)黏度(dù)變化影響(xiǎng)頗大(dà)。
2) 要用實際使用(yòng)流體(tǐ)校準
液體(tǐ)流量儀表一般(bān)用水(shuǐ)校(xiào)準，氣體(tǐ)用空氣(qì)校(xiào)準。若知道實際測量(liàng)流體與(yǔ)校準流(liú)體(tǐ)間某些物性(xìng)不同對示值有(yǒu)規律變化時，中(zhōng)大管徑(jìng)流(liú)量儀表常(cháng)以(yǐ)适(shì)當系(xì)數修正(zhèng)。但有些小流(liú)量儀(yí)表受(shòu)黏度等流體物性影(yǐng)響大，須以(yǐ)實際使用流體(tǐ)校(xiào)準(zhǔn)。所幸流量(liàng)小，用實際(jì)使用流體校準(zhǔn)難度(dù)不大，但在作有害性流體校準(zhǔn)時應注意安全(quán)和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要求測(cè)量時防止污染流體(tǐ)
若測(cè)量潔(jié)淨氣(qì)體和純水(shuǐ)常不允許接(jiē)觸(chù)流體(tǐ)的儀表零(líng)件材料(liào)析出離子，例(lì)如半導體(tǐ)制(zhì)備中儀(yí)表不(bú)能用(yòng)金屬和玻(bō)璃制成，隻(zhī)能用塑料。流(liú)體(tǐ)中也(yě)不允許混入活動件的(de)磨蝕塵(chén)粒。流量儀(yí)表流(liú)通通道(dào)要盡可(kě)能簡單，不應有潴留(liú) ( 指液(yè)體在體内不正(zhèng)常地(dì)聚(jù)集停留(liú) ) 部位(wèi)，防止(zhǐ)潴留(liú)介(jiè)質變質。
4) 氣(qì)泡(pào)和塵埃(āi)附(fù)着的(de)影響(xiǎng)
因(yīn)管(guǎn)徑小(xiǎo)黏性增(zēng)加，液體(tǐ)中微細(xì)氣泡易(yì)在管(guǎn)系流動過(guò)程中積(jī)聚(jù)變大，使測量時指(zhǐ)示(shì)不穩，度下降。流體中(zhōng)塵埃附着測量(liàng)元件也要(yào)影響測量值，例(lì)如浮子(zǐ)流量計(jì)的浮(fú)子上沉積(jī)有肉眼覺(jiào)察不(bú)出的(de)附着層也(yě)會影響示值。
5) 流(liú)量儀表品(pǐn)種使用上受到一定(dìng)限(xiàn)制
在衆(zhōng)多測量原(yuán)理流(liú)量(liàng)儀表中(zhōng)，因各種原(yuán)因小(xiǎo)流量(liàng)應用(yòng)受到(dào)一些(xiē)限制(zhì)，當前能應用于小流量的品種如表(biǎo)格所(suǒ)示