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FS4000微型空氣流量傳感器

産品時間:2021-08-27

簡要描述:

FS4000微(wēi)型空氣流量傳感器是采(cǎi)用微機電系統(MEMS)流(liú)量傳感器技術和智能電子控制(zhì)技術,專爲普通氣體流(liú)量監測開發的産品。該傳感器能(néng)直接測量氣體(tǐ)質量流量,低壓損(sǔn)。适用于淨化空氣(qì)或氮氣流量監(jiān)控(kòng),還可用于環境采樣器(如色(sè)譜分析儀器等)

FS4003流量傳感器,管道内徑(jìng)爲3mm,成本低(dī)測量範圍大到(dào)5SLPM;适用于粒子計數器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器,管道(dào)内徑爲8mm,測量範圍(wéi)大到50SLPM;可用于麻醉設備、潔淨氣(qì)體檢測,如:空氣采樣機(jī),氣體分析儀等

FS4000微型空氣流量傳感器産品特(tè)點:

   - 專爲管徑(jìng)3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

  - 支持多種連接方式,易于安裝與使用

  - 傳感(gǎn)芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需(xū)溫度壓(yā)力補償,保(bǎo)證了傳感器的(de)高精度計量

  - 在單個(gè)芯片上實現了(le)多傳(chuán)感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高

  - 輸出方式靈活,既可(kě)通過通訊接口主動上傳數據或由上位機(jī)查詢輸出(chū)數據,也可(kě)通過模拟接口輸出線性的模拟電壓

  - 零點(diǎn)穩定度高

  - 全量程高穩定性、高(gāo)精确度和優良(liáng)的重複性

  - 低功(gōng)耗、低壓損(sǔn)

  - 響應速度快

FS4000微型空氣流量傳感器(qì)機械尺寸:

性能參數

FS4003

FS4008

單位

通徑

3

8

mm

大流量

2, 3, 4, 5

10, 20, 30, 40, 50

SLPM

量程比

100:1

精度

±(1.5+0.2FS)

%

重複性

0.5

%

零(líng)點輸出飄移

±30

mV

輸出飄(piāo)移

0.12

%/oC

響應時間

10(默(mò)認、20、50、100、200、500、1000可設置)

ms

工作電源

8~24Vdc,50mA

輸出(chū)方式

線性,RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc

大流量壓損

100

600

pa

大工(gōng)作壓力

0.5

MPa

工作(zuò)溫度(dù)

-10 ~ +55

oC

存儲(chǔ)溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無結(jié)冰、無凝露(lù))

機械接口

BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接(jiē)頭

校準方式

空氣(qì)(或其他氣體),20oC,101.325kPa

重量(liàng)

52(帶R1/4,BSPT1/4接口)
71(帶4mm,8mm快速接口,68(帶6mm快速(sù)接頭)

g

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