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fs4001小(xiǎo)流量(liàng)氣體質量(liàng)流量傳感(gǎn)器

産品(pǐn)時間(jiān):2021-08-31

簡要描述:

siargo ltd fs4001小流量氣體質量流量傳感(gǎn)器是專門爲各類小流量(liàng)氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感(gǎn)器均采用本公司自主研發的(de)微機電系統(MEMS)流量傳感芯(xīn)片來制作,适用于各(gè)類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成(chéng)本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償,可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。

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fs4001小流量氣體質量流量傳感(gǎn)器

産品特(tè)點 傳感器靈敏度高,有極(jí)小的始動(dòng)流量傳感器芯片采用熱質量(liàng)流量計量,無需溫度壓力補償(cháng),保證了傳感器的高精度計量(liàng)在單個芯片上實(shí)現了多傳感器集成,使傳感器的(de)量程比大大提高傳(chuán)感器的零點穩定度(dù)高全(quán)量程高穩定性(xìng)全量程高精确度和優良的重複性低功(gōng)耗低壓損響應時間(jiān)快.
fs4001小流量氣體(tǐ)質量流量傳感器 主(zhǔ)要參數:

性能參數

FS4001

單(dān)位

通 徑

1.0

1.8

mm

大流量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程比

≥100:1

 

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重(zhòng)複性

0.25

%讀數(shù)

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA

 

輸出方式

線性,RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc

 

大流量壓損

350

300

pa

大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度(dù)

<95%RH(無結(jié)冰、無凝露(lù))

 

機械接口(kǒu)

可拆式軟管(guǎn)接頭

 

校準方式

空(kōng)氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa

 

重量

15

g

 

機械尺寸:

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